Влияние совместного действия обработки подложек: в тлеющем разрядеи предварительного нагрева перед напылением на адгезионную прочность

Предварительная обработка диэлектрических подложек в: тлеющем разряде обладает большим преимуществом по сравнению' с другими видами обработки, а именно, позволяет значительно уменьшить температуру предварительного нагрева подложек перед напылением, а' в иных случаях и совсем отказаться от нагрева при сохранении необходимой прочности адгезии.

Напыление при низких температурах подложки рекомендуется при использовании в качестве подложек полимерных материалов, так как их нагрев может сопровождаться короблением или усадкой.

Производились исследования влияния на адгезию совместного, а также раздельного действия операций предварительного напре- ва, химической очистки и обработки в тлеющем разряде ситалло- вых подложек [54]. Выяснено, что обработка подложек в тлеющем разряде приводит примерно к такому же уровню адгезии, что и совместное действие химической очистки и нагрева. Это объяснимо, если предположить, что кроме разрыва поверхностных связей: действие тлеющего разряда некоторым образом усиливает диффузионные процессы, происходящие на границе пленки и подложки, в результате чего значительно повышается прочность адгезии.

Возрастание диффузионных процессов может быть связано с тем, что в результате обработки подложек в тлеющем разряде возникает большая концентрация дефектов в поверхностном слое подложки, приводящая к увеличению коэффициента диффузии. Если принять за основу диффузионную модель сцепления, то становится хорошо объяснима значительно меньшая зависимость адгезионной способности подложек, обработанных в тлеющем разряде, от температуры напыления. При нанесении покрытий на ферритовые подложки действия одного тлеющего разряда недостаточно для получения прочного сцепления. Для этих подложек: предварительный нагрев необходим.