Общая характеристика параметров, влияющих на адгезию

Создание современного автоматизированного производства,, обеспечивающего получение высококачественных и надежных изделий электронной техники, затрудняется из-за недостаточной изученности влияния технологических параметров нанесения покрытий на их свойства.

метры. Например, при исследовании зависимости температуры подложки на свойства наносимых пленок отмечено, что повышение температуры сопровождается изменением давления и состава остаточных газов в вакуумной камере, а это дополнительно изменяет сойства получаемых пленок (в том числе и адгезию).

Другой сложностью выбора оптимальной технологии является отсутствие объективного количественного критерия оценки некоторых параметров нанесения, например частоты поверхности подложки, степени активации ее поверхности. Кроме того, имеется ряд параметров процесса нанесения, контроль которых крайне затруднен, например обратный ток масла из системы вакуумной откачки, диффузия газов из объема подложки и др.

Анализ влияния неконтролируемых и слабо контролируемых параметров процесса изготовления позволил бы построить физическую модель процесса, на основании которой можно уменьшить влияние неконтролируемых параметров. При построении физической модели важно выделить общие параметры, присущие различным способам нанесения.

Анализ основных способов нанесения покрытий, к которым относятся резистивное и электронно-лучевое испарение, ионно-плазменное и ионно-лучевое распыление, показал, что параметры, определяющие адгезию, являются общими для всех способов. Такими общими параметрами являются: качество предварительной химической очистки подложек, плазменная обработка подложек перед нанесением покрытий, температурный режим нанесения и взаимодействие потока частиц, поступающих на подложку, с остаточным газом вакуумной камеры.

Таблица 6. Влияние технологических параметров нанесения на адгезионную способность

В табл. 6 представлены результаты анализа влияния важнейших технологических параметров нанесения на адгезионную способность пленок. Таблица составлена на основе литературных: данных и исследований авторов этой книги.

* Данная глава посвящена оценке влияния указанных в таблице технологических параметро© на адгезионную прочность. Анализ параметров нанесения проводился для материалов, наиболее употребляемых при изготовлении ГИС. Особое внимание уделена плазменной обработке подложек перед нанесением покрытия — перспективному методу получения заданного значения адгезионной прочности.